MKS请求用于质量流量操控器的主动自我校准办法和设备专利校准第二流量感测器

  国家知识产权局信息数据显现，MKS股份有限公司请求一项名为“用于质量流量操控器的主动自我校准的办法和设备”的专利，公开号CN121311741A，请求日期为2024年8月。

  专利摘要显现，本发明供给一种质量流量操控器及一种供给质量流量操控的办法。一种质量流量操控器包含操控阀，该操控阀装备成操控在活动途径中流体的流量。榜首流量感测器侦测榜首组流体流量参数，且第二流量感测器侦测第二组流体流量参数。该榜首流量感测器及该第二流量感测器为相异的流量丈量类型。该质量流量操控器进一步包含操控器，该操控器装备成根据借由该榜首流量感测器侦测到的该榜首组流体流量参数而决议一组榜首质量流量率，且根据榜首质量流量感测器的所决议的该组质量流量率以及该第二组流体流量参数来校准该第二流量感测器。

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